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适用柔性材料PET、玻璃等基底材料上的导电氧化物刻蚀、剥离等。（1）设备型号：YLET1010MG （2）本设备系统由三大部分组成：主机、冷水机、抽尘机。 （3）适用柔性材料PET、玻璃等基底材料上的导电氧化物刻蚀、剥离等。 （4）加工幅面为：100*100mm。
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一、系统介绍激光刻蚀机
（1）设备型号：YLET1010MG
（2）本设备系统由三大部分组成：主机、冷水机、抽尘机。
（3）适用柔性材料PET、玻璃等基底材料上的导电氧化物刻蚀、剥离等。
（4）加工幅面为：100*100mm。
二、主要技术参数
序号 | 项目名称 | 技术参数 |
1 | 设备型号 | YLET1010MG |
2 | 激光器 | 纳秒绿光激光器 |
3 | 波长 | 532nm |
4 | 功率 | 5W |
5 | 激光器频率调节范围 | 30K-100KHZ |
6 | 加工幅面 | 100*100mm |
7 | 聚焦光斑 | ≥50um（100mm幅面） |
8 | CCD抓靶精度 | ±10um |
9 | X/Y运动模组重复定位精度 | ±10um |
10 | 刻蚀最小线宽 | ≥50um（100mm幅面） |
11 | 最小线间隔距 | ≥50um（100mm幅面） |
12 | 刻蚀速度 | <3000mm/S |
13 | 主机设备尺寸 | 1050*700*1660mm(L*W*H) |
14 | 冷水机尺寸 | 580*290*520mm(L*W*H) |
15 | 抽尘机尺寸 | 600*500*800mm(L*W*H) |
16 | 主机设备重量 | 300KG |
17 | 主机额定功率 | 3000W |
18 | 可处理的文件格式 | 标准CAD版本DXF文件 |
PET上ITO刻蚀
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