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飞秒激光刻蚀机

太阳能钙钛矿电池激光刻蚀机

太阳能钙钛矿电池激光刻蚀机,采用飞秒激光刻蚀设备适用于ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、氧化镍NiOx、金、银、碳粉等导电金属、氧化物材料激光刻蚀。也可针对玻璃、硅片、氧化锆陶瓷等材料超细线宽激光刻蚀、划线、刻槽。

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太阳能钙钛矿电池激光刻蚀机,采用飞秒激光刻蚀设备适用于ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、氧化镍NiOx、金、银、碳粉、铜、铝等导电金属、氧化物材料激光刻蚀。也可针对玻璃、硅片、氧化锆陶瓷等材料超细线宽激光刻蚀、划线、刻槽。

 

同时,适用于其他多层材料超细线宽激光刻蚀加工,如不锈钢网上的PI膜刻蚀、玻璃基材上PI膜刻蚀、不锈钢光栅划线等应用。

 

  

设备简介

设备采用固体激光器,激光波长1030nm,适合对导电玻璃与镀层进行精细刻线;采用自主研发的控制软件、直接导入CAD 数据进行激光刻蚀,操作简单,方便快捷;通过软件实时调节振镜与直线电机、电动升降工作台的设计,加上真空吸附托盘装置,能有效地解决激光刻蚀机在加工运行中的平稳性;采用独特除尘系统设计,能保证玻璃与工作平面的清洁,保证激光刻蚀过程中无残留。

 

设备集数控技术、激光技术、软件技术等光机电高技术于一体,具有高灵活性、高精度、高速度等先进制造技术的特征。可大范围内进行各种图案,各种尺寸的精密、高速刻蚀,并且能够保证很高的产能,是一个可靠、稳定和具有高性能价格比的产品。

 

适用行业

玻璃、硅片、陶瓷、PET薄膜等基底上镀膜激光刻蚀,常用于触摸屏、光伏太阳能电池、电致色玻璃、调光玻璃、发光玻璃、其它显示屏等行业激光刻蚀加工。

 

整体说明

主要构成:激光器、光路系统、运动系统、控制系统、 定位系统、 抽尘系统、 真吸附空系统等组成。

 

主要技术参数

型号

ET1260-FF钙钛矿电池激光刻蚀机

激光器

飞秒、皮秒激光器,波长1030nm/532nm

纳秒激光器,波长1064nm

加工幅面

1200*600mm/600*500mm/500*400mm(可定制加工幅面)

聚焦光斑

<10μm

<20μm

激光器频率调节范围

20-5000KHz

100-500KHz

刻蚀最小线宽

<10 um

<20μm

(最大可以去除95%以上的氧化物镀层)

整机精度

±15μm

±20μm

最小线间距

<10μm

<20μm

工作台定位精度

±2um

工作台重复精度

±1um

CCD自动定位精度

±2um

刻蚀速度

<4000mm/s

设备尺寸

1950mmL×1700mmW×1960mmH(根据实际尺寸而定)

设备重量

3500kg

功率消耗

<3000W

可处理文件格式

标准CAD2004版DXF文件

 

注:根据实验室前期实验性阶段需要,武汉元禄光电针对性开发出了实验室阶段小型激光刻蚀机,适用于100*100mm以下导电玻璃激光刻蚀、划线应用,欢迎前来咨询了解。

 


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