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导电玻璃激光刻蚀机

导电玻璃激光划线机

导电玻璃激光刻蚀机适用于Glass玻璃基底上的导电材料进行高速激光刻蚀、剥离、划线。适用于氧化铟锡(ITO),银浆(Ag)、碳纳米管(CNT)、石墨烯、纳米银、钼铝钼、铜、高分子导电膜、氧化锌、PERC、钙钛矿电池、FTO、TCO、碳粉等涂层材料的超细线宽激光蚀刻。

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设备适用于PET薄膜和Glass玻璃基底上的导电材料进行高速激光刻蚀、剥离、蚀刻、刻线、划片、材料去除、构造。

 

适用材料

玻璃/薄膜表面氧化铟锡(ITO)、FTO、银浆(Ag)、碳纳米管(CNT)、石墨烯、纳米银、钼铝钼、铜、高分子导电膜、铝薄膜、PERC、钙钛矿电池、TCO、碳粉、氧化锆、氧化钛、氧化锌、金等涂层材料的超细线宽激光蚀刻。可直接对白玻璃激光刻蚀、划线,最小线宽小于10微米。

 

应用行业

1.手机、车载、平板、智能穿戴,点餐机等触控屏GF,GFF,OGS。

2.车载触控屏体的OGS上导电膜层的刻蚀。

3.薄膜太阳能电池、钙钛矿电池等光伏行业。

4.新兴能源行业,如电致色调光玻璃等。

5.发光玻璃、户外显示玻璃、显示柔性薄膜等。

6.白玻璃激光刻蚀线槽、划线、打孔(导流)

7.其他显示屏。

 

产品特点

1.激光蚀刻为干式蚀刻,加工制程简单,所有加工均由软件自动控制,产品一致性高,良率高达99%,无耗材,环保,可靠稳定。

2.CCD相机自动定位,加工精度高。

3.设备操作简单,图档更新方便,制程缩短,稼动率高。

4.设备控制软件能够实现自动图档分割,移动拼接加工,拼接精度可达±3μm

5.耗电量省,操作人员少,无污染,生产成本低。

 

技术参数

激光器

光纤激光器

绿光激光器

紫外激光器

激光波长

1064nm

532nm

355nm

激光功率  

20W

10W

10W

脉冲宽度

纳秒、飞秒、皮秒可选

纳秒、皮秒可选

纳秒、皮秒可选

最小聚焦光斑  

<10μm(视材料与激光器类型、脉宽而定)

最小刻蚀线宽

<10μm(视材料与激光器类型、脉宽而定)

刻蚀速度  

<4000mm/s

加工范围  

600*1200mm/600*600mm(标准尺寸,可根据客户要求定制)

单次最大幅面

110mmX110mm    (标准配置,根据需求可选配)

CCD自动定位精度

±3μm

直线电机工作台定位精度

±2μm

直线电机工作台重复精度

±1um

设备尺寸  

1650mmL×1300mmW×1670mmH

设备重量  

1800kg

可处理文件格式  

标准Gerber文件,DXF文件,PLT文件等

 

元禄光电已开发出小型FTO、ITO激光刻蚀设备,可用于前期实验阶段加工,欢迎电话咨询了解。 

 

 


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